Dengan densitas dan konduktivitas termal yang unggul, Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Epitaxial Growth adalah pilihan ideal untuk digunakan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, produk grafit ini memberikan perlindungan dan distribusi panas yang sangat baik, memastikan kinerja yang andal dan konsisten dalam aplikasi manufaktur semikonduktor.
Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Epitaxial Growth adalah pilihan sempurna untuk pembentukan lapisan epixial pada wafer semikonduktor, berkat konduktivitas termal dan sifat distribusi panasnya yang sangat baik. Lapisan silikon karbidanya memberikan perlindungan yang unggul bahkan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif yang paling berat sekalipun.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. SiC Coated Barrel Susceptor kami untuk Pertumbuhan Epitaxial memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter SiC Coated Barrel Susceptor untuk Pertumbuhan Epitaxial
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur kristal |
FCC β fase |
|
Kepadatan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 titik) |
415 |
Modulus muda |
Gpa (tikungan 4pt, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur SiC Coated Barrel Susceptor untuk Pertumbuhan Epitaxial
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kerapatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.
- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.
- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.