Dengan titik lelehnya yang tinggi, ketahanan oksidasi, dan ketahanan korosi, Susceptor Barel Lapis SiC Semicorex untuk Pertumbuhan LPE adalah pilihan sempurna untuk digunakan dalam aplikasi pertumbuhan kristal tunggal. Lapisan silikon karbidanya memberikan kerataan dan sifat distribusi panas yang luar biasa, memastikan kinerja yang andal dan konsisten bahkan di lingkungan bersuhu tinggi yang paling berat sekalipun.
Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor for LPE Growth adalah produk grafit berkualitas terbaik yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, dirancang khusus untuk proses LPE dan aplikasi manufaktur semikonduktor lainnya. Kepadatan dan konduktivitas termalnya yang luar biasa memberikan distribusi dan perlindungan panas yang unggul di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan SiC-Coated Barrel Susceptor berkualitas tinggi dan hemat biaya untuk Pertumbuhan LPE, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter SiC-Coated Barrel Susceptor untuk Pertumbuhan LPE
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur kristal |
FCC β fase |
|
Kepadatan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 titik) |
415 |
Modulus muda |
Gpa (tikungan 4pt, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur SiC-Coated Barrel Susceptor untuk Pertumbuhan LPE
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kerapatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.
- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.
- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.