Susceptor Barel Berlapis SiC

Dengan titik leleh yang tinggi, ketahanan oksidasi, dan ketahanan terhadap korosi, Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor adalah pilihan sempurna untuk digunakan dalam aplikasi pertumbuhan kristal tunggal. Lapisan silikon karbida memberikan sifat kerataan dan distribusi panas yang luar biasa, memastikan kinerja yang andal dan konsisten bahkan di lingkungan bersuhu tinggi yang paling menuntut sekalipun.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor adalah produk grafit berkualitas tinggi yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, dirancang khusus untuk proses LPE dan aplikasi manufaktur semikonduktor lainnya. Kepadatan dan konduktivitas termalnya yang luar biasa memberikan distribusi dan perlindungan panas yang unggul di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan SiC-Coated Barrel Susceptor yang berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Susceptor Barel Berlapis SiC

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Barel Berlapis SiC

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.