Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor untuk LPE adalah pilihan sempurna untuk aplikasi pertumbuhan kristal tunggal, berkat permukaannya yang sangat rata dan lapisan SiC berkualitas tinggi. Titik lelehnya yang tinggi, ketahanan oksidasi, dan ketahanan korosi menjadikannya pilihan ideal untuk digunakan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif.
Mencari suseptor grafit dengan distribusi panas dan konduktivitas termal yang luar biasa? Tidak terlihat lagi dari Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor untuk LPE, dilapisi dengan SiC kemurnian tinggi untuk kinerja unggul dalam proses LPE dan aplikasi manufaktur semikonduktor lainnya.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. SiC Coated Barrel Susceptor kami untuk LPE memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter SiC Coated Barrel Susceptor untuk LPE
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur kristal |
FCC β fase |
|
Kepadatan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 titik) |
415 |
Modulus muda |
Gpa (tikungan 4pt, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur SiC Coated Barrel Susceptor untuk LPE
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kerapatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.
- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.
- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.