Susceptor Barel Grafit Dilapisi SiC

Jika Anda mencari susceptor grafit berkinerja tinggi untuk digunakan dalam aplikasi manufaktur semikonduktor, Susceptor Barel Grafit Berlapis Semicorex SiC adalah pilihan ideal. Konduktivitas termal dan sifat distribusi panasnya yang luar biasa menjadikannya pilihan utama untuk kinerja yang andal dan konsisten dalam lingkungan bersuhu tinggi dan korosif.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor adalah pilihan sempurna untuk aplikasi manufaktur semikonduktor yang memerlukan distribusi panas dan konduktivitas termal yang luar biasa. Lapisan SiC dengan kemurnian tinggi dan kepadatan yang unggul memberikan perlindungan unggul dan sifat distribusi panas, memastikan kinerja yang andal dan konsisten bahkan di lingkungan yang paling menantang sekalipun.

Susceptor Barel Grafit Berlapis SiC kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Hal ini membantu mencegah kontaminasi atau penyebaran kotoran, memastikan pertumbuhan epitaksi berkualitas tinggi pada chip wafer.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Susceptor Barel Grafit Berlapis SiC kami.

Parameter Susceptor Barel Grafit Dilapisi SiC

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Barel Grafit Dilapisi SiC

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.