Susceptor Barel Grafit Dilapisi SiC

Jika Anda mencari susceptor grafit berperforma tinggi untuk digunakan dalam aplikasi manufaktur semikonduktor, Susceptor Barel Grafit Dilapisi SiC Semicorex adalah pilihan yang ideal. Sifat konduktivitas termal dan distribusi panasnya yang luar biasa menjadikannya pilihan utama untuk kinerja yang andal dan konsisten di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor adalah pilihan sempurna untuk aplikasi manufaktur semikonduktor yang membutuhkan distribusi panas dan konduktivitas termal yang luar biasa. Lapisan SiC dengan kemurnian tinggi dan densitas yang unggul memberikan perlindungan dan sifat distribusi panas yang unggul, memastikan kinerja yang andal dan konsisten bahkan di lingkungan yang paling menantang sekalipun.

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Ini membantu mencegah kontaminasi atau difusi pengotor, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualitas tinggi pada chip wafer.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang SiC Coated Graphite Barrel Susceptor kami.

Parameter Susceptor Barel Grafit Dilapisi SiC

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Barel Grafit Dilapisi SiC

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kerapatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.