Baki grafit berlapis SiC

Baki grafit berlapis SiC adalah bagian semikonduktor mutakhir yang memberikan kontrol suhu tepat pada substrat Si dan dukungan stabil selama proses pertumbuhan epitaksi silikon. Semicorex selalu memberikan prioritas utama pada permintaan pelanggan, menyediakan solusi komponen inti yang diperlukan pelanggan untuk produksi semikonduktor berkualitas tinggi.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Sebagai komponen utama peralatan epitaksi,Baki grafit berlapis SiC, secara langsung mempengaruhi efisiensi produksi, keseragaman, dan tingkat cacat pertumbuhan lapisan epitaksi.

Melalui pemurnian grafit, pemrosesan presisi, dan perawatan pembersihan, permukaan substrat grafit dapat mencapai kerataan dan kehalusan yang sangat baik, sehingga berhasil menghindari risiko kontaminasi partikel. Melalui pengendapan uap kimia, permukaan substrat grafit mengalami reaksi kimia dengan gas reaktif, menghasilkan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat, bebas pori, dan tebal seragam. Dari persiapan substrat hingga perawatan pelapisan, seluruh proses produksi dilakukan di ruang bersih Kelas 100, yang memenuhi standar kebersihan yang sesuai untuk semikonduktor.

Baki grafit berlapis SiC yang terbuat dari bahan grafit dan SiC dengan kemurnian tinggi, pengotor rendah, memiliki konduktivitas termal yang sangat baik dan koefisien muai panas yang rendah. Hal ini tidak hanya memungkinkan baki grafit berlapis SiC mentransfer panas dengan cepat dan seragam untuk meningkatkan kualitas pertumbuhan lapisan epitaksi, namun juga secara efektif mengurangi risiko pelepasan lapisan atau retak akibat tekanan termal. Selain itu, lapisan SiC yang seragam dan padat tahan terhadap suhu tinggi, oksidasi dan korosi, memastikan pengoperasian yang stabil untuk waktu yang lama di bawah kondisi suhu tinggi dan gas korosif.

Baki grafit berlapis SiC memiliki kompatibilitas lebih tinggi dengan peralatan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD). Ukurannya telah dirancang dengan cermat dan dirancang untuk beradaptasi dengan parameter proses dan persyaratan peralatan yang berbeda. Semicorex selalu menekankan untuk menawarkan layanan profesional yang dirancang khusus kepada pelanggan kami untuk memenuhi kebutuhan mereka secara tepat untuk berbagai ukuran, ketebalan lapisan, dan kekasaran permukaan baki grafit berlapis SiC.