Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida

Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel adalah pilihan sempurna untuk aplikasi manufaktur semikonduktor yang membutuhkan ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Sifat konduktivitas termal dan distribusi panasnya yang luar biasa menjadikannya ideal untuk digunakan dalam proses LPE dan lingkungan bersuhu tinggi lainnya.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Ketika datang ke manufaktur semikonduktor, Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida Silikon Semicorex adalah pilihan utama untuk kinerja dan keandalan yang luar biasa. Lapisan SiC berkualitas tinggi dan densitas serta konduktivitas termal yang unggul memberikan distribusi dan perlindungan panas yang unggul bahkan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif yang paling menantang sekalipun.

Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel kami memastikan profil termal yang rata, menjamin pola aliran gas laminar terbaik. Ini mencegah kontaminasi atau kotoran menyebar ke wafer, membuatnya ideal untuk digunakan di lingkungan ruang bersih. Semicorex adalah produsen dan pemasok SiC Coated Graphite Susceptor skala besar di Cina, dan produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di industri semikonduktor.

Parameter dari Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus Muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.