Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida

Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida Semicorex adalah pilihan sempurna untuk aplikasi manufaktur semikonduktor yang memerlukan ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Konduktivitas termal dan sifat distribusi panasnya yang luar biasa menjadikannya ideal untuk digunakan dalam proses LPE dan lingkungan bersuhu tinggi lainnya.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Dalam hal manufaktur semikonduktor, Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida Semicorex adalah pilihan utama untuk kinerja dan keandalan yang luar biasa. Lapisan SiC berkualitas tinggi serta kepadatan dan konduktivitas termal yang unggul memberikan distribusi dan perlindungan panas yang unggul bahkan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif yang paling menantang sekalipun.

Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida kami memastikan profil termal yang merata, menjamin pola aliran gas laminar terbaik. Ini mencegah kontaminasi atau kotoran menyebar ke dalam wafer, sehingga ideal untuk digunakan di lingkungan ruang bersih. Semicorex adalah produsen dan pemasok Susceptor Grafit Berlapis SiC berskala besar di Tiongkok, dan produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di industri semikonduktor.

Parameter Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Barel Grafit Berlapis Silikon Karbida

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.