Pertumbuhan epitaksi bebas cacat terjadi ketika satu kisi kristal memiliki konstanta kisi yang hampir sama dengan yang lain. Pertumbuhan terjadi ketika lokasi kisi dari dua kisi pada wilayah antarmuka kira-kira sama, hal ini mungkin terjadi jika terdapat ketidaksesuaian kisi yang kecil (kurang dari ......
Baca selengkapnyaTahap paling dasar dari semua proses adalah proses oksidasi. Proses oksidasinya adalah dengan menempatkan wafer silikon dalam atmosfer oksidan seperti oksigen atau uap air untuk perlakuan panas suhu tinggi (800~1200℃), dan terjadi reaksi kimia pada permukaan wafer silikon untuk membentuk film oksida......
Baca selengkapnyaPertumbuhan epitaksi GaN pada substrat GaN menghadirkan tantangan unik, meskipun bahan tersebut memiliki sifat yang lebih unggul jika dibandingkan dengan silikon. Epitaksi GaN menawarkan keunggulan signifikan dalam hal lebar celah pita, konduktivitas termal, dan kerusakan medan listrik dibandingkan ......
Baca selengkapnyaEtsa adalah proses penting dalam pembuatan semikonduktor. Proses ini dapat dikategorikan menjadi dua jenis: etsa kering dan etsa basah. Setiap teknik memiliki kelebihan dan keterbatasannya masing-masing, sehingga penting untuk memahami perbedaan di antara keduanya. Jadi, bagaimana cara memilih metod......
Baca selengkapnya