Sebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Komponen Semikonduktor. Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen berlapis SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari bahan habis pakai grafit untuk zona panas pertumbuhan kristal (pemanas, susceptor wadah, insulasi), hingga komponen grafit presisi tinggi untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti susceptor grafit berlapis silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Efektor Akhir →
Efektor akhir adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antar posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Filamen Pemanas Semicorex SiC adalah pemanas grafit berlapis silikon karbida yang dirancang untuk pemanasan wafer dalam manufaktur semikonduktor tingkat lanjut. Memilih Semicorex berarti memilih mitra tepercaya yang memberikan bahan dengan kemurnian tinggi, penyesuaian presisi, dan kinerja tahan lama untuk proses termal yang paling menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanChuck silikon karbida semicorex dirancang khusus untuk peralatan fotolitografi dan memiliki banyak keunggulan seperti presisi tinggi, bobot sangat ringan, kekakuan tinggi, koefisien ekspansi termal rendah, dan ketahanan aus yang sangat baik.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanTabung Tungku SiC Semicorex adalah tabung silikon karbida dengan kemurnian tinggi yang diproduksi dengan teknologi pencetakan 3D canggih, dirancang untuk proses fotovoltaik suhu tinggi. Semicorex menghadirkan solusi SiC mutakhir dengan kekuatan, stabilitas, dan keandalan unggul yang dipercaya oleh industri tenaga surya di seluruh dunia.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Paddles adalah lengan kantilever silikon karbida dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pengangkutan wafer dalam tungku oksidasi dan difusi suhu tinggi di atas 1000℃. Memilih Semicorex berarti memastikan kualitas material yang luar biasa, rekayasa presisi, dan keandalan jangka panjang yang dipercaya oleh pabrik semikonduktor terkemuka.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Focus Ring adalah komponen cincin silikon karbida dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk mengoptimalkan distribusi plasma dan keseragaman proses wafer dalam manufaktur semikonduktor. Memilih Semicorex berarti memastikan kualitas yang konsisten, rekayasa material yang canggih, dan kinerja yang andal yang dipercaya oleh pabrik semikonduktor terkemuka di seluruh dunia.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Wafer Edge Grinding Chuck adalah disk keramik yang terbuat dari alumina putih dengan kemurnian tinggi, yang dirancang untuk penggilingan tepi wafer dalam manufaktur semikonduktor. Memilih Semicorex memastikan kualitas material yang unggul, rekayasa presisi, dan kinerja yang andal yang mendukung lingkungan pemrosesan wafer yang paling menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan