Sebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Komponen Semikonduktor. Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Pelapis silikon karbida kami padat, suhu tinggi, dan tahan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus pembuatan semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor dan fabrikasi semikonduktor.
Komponen berlapis SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses dalam semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari bahan habis pakai grafit untuk zona panas penumbuhan kristal (pemanas, susceptor wadah, insulasi), hingga komponen grafit presisi tinggi untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti susceptor grafit berlapis silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemrosesan penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras. Semicorex memasok konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Kamar â
Tutup Chamber yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Efektor Akhir â
End effector adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa.
Cincin Saluran Masuk â
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus â
Pasokan Semicorex Silicon Carbide Coated ring fokus benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan bahan kimia yang keras.
Wafer Chuck â
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks dilapisi SiC kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Memperkenalkan Wafer Transfer Hand, dirancang dan diproduksi oleh tim ahli kami di China, produk ini dirancang khusus untuk memastikan transfer wafer yang aman dan efisien dari satu lokasi ke lokasi lain, tanpa merusak permukaan yang halus.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanKomponen Lapisan Karbida Silikon Semicorex yang canggih dan sangat murni dibangun untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem dalam proses penanganan wafer. Semiconductor Wafer Chuck kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSempurna untuk aplikasi litografi dan penanganan wafer generasi mendatang, komponen keramik ultra-murni Semicorex memastikan kontaminasi minimal dan memberikan kinerja umur panjang yang luar biasa. Wafer Vacuum Chuck kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin fokus tahan lama Semicorex untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem ruang etsa plasma yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Cincin fokus kami terbuat dari grafit dengan kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Lapisan SiC memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi, serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami menerapkan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan masa pakai cincin fokus kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin fokus pemrosesan Semicorex Plasma dirancang khusus untuk memenuhi permintaan tinggi pemrosesan etsa plasma di industri semikonduktor. Komponen Pelapisan Karbida Silikon kami yang canggih dan sangat murni dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem dan cocok untuk digunakan dalam berbagai aplikasi, termasuk lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Fokus SiC dengan kemurnian tinggi dan canggih dari Semicorex dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem di ruang etsa plasma (atau etsa kering). Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan