Cina Komponen Semikonduktor Produsen, Pemasok, Pabrik

Sebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Komponen Semikonduktor. Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Pelapis silikon karbida kami padat, suhu tinggi, dan tahan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus pembuatan semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor dan fabrikasi semikonduktor.

Komponen berlapis SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses dalam semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari bahan habis pakai grafit untuk zona panas penumbuhan kristal (pemanas, susceptor wadah, insulasi), hingga komponen grafit presisi tinggi untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti susceptor grafit berlapis silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.

Keuntungan untuk proses semikonduktor

Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemrosesan penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras. Semicorex memasok konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.

Tutup Kamar â
Tutup Chamber yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.

Efektor Akhir â
End effector adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa.

Cincin Saluran Masuk â
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.

Cincin Fokus â
Pasokan Semicorex Silicon Carbide Coated ring fokus benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan bahan kimia yang keras.

Wafer Chuck â
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks dilapisi SiC kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.