Sebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Komponen Semikonduktor. Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen berlapis SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari bahan habis pakai grafit untuk zona panas pertumbuhan kristal (pemanas, susceptor wadah, insulasi), hingga komponen grafit presisi tinggi untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti susceptor grafit berlapis silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Efektor Akhir →
Efektor akhir adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antar posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex Silicon Pedestal Boat adalah pembawa wafer dengan kemurnian ultra tinggi 9N yang dirancang untuk dukungan wafer yang presisi dan stabil dalam proses oksidasi, difusi, dan LPCVD suhu tinggi. Pilih Semicorex untuk kemurnian material yang tak tertandingi, pemesinan presisi, dan keandalan yang terbukti*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Silicon Injector adalah komponen tubular dengan kemurnian sangat tinggi yang dirancang untuk pengiriman gas yang presisi dan bebas kontaminasi dalam proses pengendapan polisilikon LPCVD. Pilih Semicorex untuk kemurnian, pemesinan presisi, dan keandalan terdepan di industri.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Silicon Wafer Boat adalah pembawa dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk tungku semikonduktor bersuhu tinggi, mendukung wafer selama proses oksidasi dan reduksi pada 1200–1250 °C. Semicorex menyediakan produk unggulan, kinerja ultra-bersih, dan hasil andal yang secara langsung meningkatkan hasil perangkat.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Pelindung Silikon Semicorex adalah komponen silikon dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk sistem etsa plasma canggih, berfungsi sebagai pelindung dan elektroda tambahan. Semicorex memastikan kinerja ultra-bersih, stabilitas proses, dan hasil etsa yang unggul dengan komponen semikonduktor yang dirancang secara presisi.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Ceramic Paddle adalah komponen kantilever dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk tungku semikonduktor suhu tinggi, terutama digunakan dalam proses oksidasi dan difusi. Memilih Semicorex berarti mendapatkan akses ke solusi keramik canggih yang menjamin stabilitas, kebersihan, dan daya tahan luar biasa untuk aplikasi penanganan wafer yang penting.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSuku Cadang Halfmoon berlapis Semicorex SiC adalah komponen rekayasa presisi yang dirancang sebagai elemen penting peralatan epitaksi, di mana dua bagian berbentuk setengah bulan digabungkan untuk membentuk rakitan inti yang lengkap. Memilih Semicorex berarti mendapatkan solusi yang andal, kemurnian tinggi, dan tahan lama yang memastikan dukungan wafer yang stabil dan konduksi panas yang efisien untuk manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan